メガバウンド洗浄機と超音波洗浄機の違いは何ですか?

メガバウンドウェーブ洗浄機は、超音波洗浄の利点を維持するだけでなく、その欠点も克服します。メガバウンド洗浄機構は、高周波(850kHz)振動効果と化学反応により、シリコンチップを洗浄する化学洗浄剤と組み合わせたものである。洗浄中、探触子は波長1μm、周波数0.8MHZの高エネルギー音波を放射します。この音波の勢いで溶液分子が加速し、最大瞬時速度は30cm/sに達することがあります。そのため、超音波洗浄気泡の形成により、チップの表面に高速流体波連続衝撃しかできず、シリコンウェーハの表面に付着した汚染物質微粒子が洗浄液中に除去せざるを得ない。

ウェーハの表面上の0.2μm未満の粒子を除去することができ、これは超音波の役割を果たすことができない。この方法は、機械的洗浄方法および化学的洗浄方法の両方の役割を果たすことができる。現在、メガサウンド洗浄法は研磨に有効な方法となっている。

超音波洗浄の原理を用いた超音波洗浄機洗浄は、特に深い穴、ブラインドホール、凹面および凸溝洗浄のための包括的な洗浄効果を達成することができ、最も理想的な装置であり、いかなる物体の材料および精度にも影響しない。同時に、生化学、物理学、化学、医学、科学研究、大学の実験では、抽出、脱気、混合、細胞破砕、ナノ分解に使用することができます。

超音波洗浄機は、超音波トランスデューサ、超音波洗浄タンク、超音波発生器で構成されています。超音波洗浄機の溝は、良好な弾性と耐食性を備えた高品質のステンレス鋼で作られており、底部には超音波トランスデューサ発振器が取り付けられています。超音波発生器は、ケーブル接続ラインを介してトランスデューサに伝送される高周波および高電圧を生成します。トランスデューサと振動板は互いに高周波共振を生じるため、超音波洗浄機の洗浄槽内の溶媒が超音波によって洗浄される。